避免疏水二氧化硅層表面缺陷的方法

       氧化層表面造成各種各樣黑斑的關鍵緣故有下列幾類，一種是硅片表面解決不干凈，殘余著一些拈污的殘渣粒子，高溫下沾附在疏水二氧化硅層的表面，產生部分小黑點，這類難題只需用心解決硅片就能清除。
　　另一種是因為石英管長期性應用，處于高溫地區的石英管造成乳白色塑料薄膜，這類乳白色塑料薄膜的構造較為疏松，大氣旋吹開或實際操作時振動就會導致粒子掉下去.落入硅片表面就會產生氧化層表面部分凸起。
　　實際操作時一定堅決杜絕水珠噴到石英管中，特別是在在濕氧或水蒸氣氧化時，當溫度過高，發生爆發式燒開時，通常會將水滴立即噴到石英管中，如落入硅片上，就會發生五顏六色斑點。此外清理過的硅片上如殘余水漬，也會在氧化影片上發生斑點。
　　如在疏水二氧化硅表面存有黑斑時，黑斑處的氧化層對殘渣的掩蔽功效很有可能無效，因而導致元器件特性下降，若有很大的突起黑斑時，還會繼續導致光刻技術實際操作品質降低，危害全部芯管生產制造的良品率，因此在生產制造中應盡量減少發生黑斑。

　　氧化層針孔的造成與氧化的方式相關，一般熱氧化幾乎不造成針孔。可是假如硅片的品質不太好，有比較嚴重的織構，而織構的地區又聚集較多的熱擴散系數大的殘渣，比如，銅、鐵等，在這種地區就不可以非常好地生長發育出疏水二氧化硅層，因此產生氧化層針孔，這種針孔一般人眼不容易發覺，有時候也稱埋孔，蔓延時它能使殘渣部分透過，掩蔽無效，進而導致元器件走電擴大，抗壓減少，乃至離斷，或是導致鋁電級與疏水二氧化硅層下的地區短路故障。為了更好地清除針孔，應挑選缺點少的光伏材料，而且表面光滑、整平。清理時要嚴苛實際操作，避免重金屬超標殘渣臟污硅片表面。